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          設備展示

          shebeizhanshi

          藍寶石909

          外型尺寸2.5*2.3*3.0米
          有效鍍膜空間960*950毫米
          抽氣系統分子泵+機械泵
          電源

          80KW,380V,50HZ,5PHASE

          偏壓高頻脈沖電源
          靶源數

          4,磁控濺射 1~3,離子源 1~3

          控制系統可編程控制器+電腦
          鍍膜工藝溫度80~250度
          典型涂層濺射TiN氮化鈦,濺射CrN氮化鉻,DLC類金剛石等等單層,復合,納米涂層


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